真空燒結(jié)爐遇故障的緊急措施 　　在真空燒結(jié)爐中，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，在燒結(jié)爐中排空后，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，在燒結(jié)爐中產(chǎn)生鎢坩堝，使線圈中的鎢坩堝通過熱輻射進(jìn)行工作，并對(duì)鐵及其合金進(jìn)行粉末形成和燒結(jié)。安裝電爐的地方必須符合真空衛(wèi)生的要求。周圍空氣應(yīng)干凈干燥，通風(fēng)狀況良好，工地不易揚(yáng)塵等。在使用中，必須了解以下問題。 　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流裝置的燒結(jié)過程，可進(jìn)行真空燒結(jié)、氣體保護(hù)燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)，是一系列半導(dǎo)體特種設(shè)備中的一種新型工藝設(shè)備，可在一個(gè)裝置上完成多個(gè)工藝流程。還可用于其它領(lǐng)域，如真空熱處理、真空真空焊接等。下面，系統(tǒng)介紹了燒結(jié)爐的應(yīng)急措施。 　　***，異常冷卻水 　　1.核實(shí)加熱電源是否停止。 　　2.當(dāng)爐外發(fā)生泄漏，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施。如果能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如果不能采取緊急措施，保持原狀，并確認(rèn)設(shè)備已冷卻。 　　3.冷卻水不正常時(shí)，設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)，應(yīng)急冷卻水立即接通。 　　4.在高溫下，如果冷卻水停止，如果不能緊急供水，則水冷電極、熱交換器、真空燒結(jié)爐的真空室殼體和泵可能損壞。 　　第二，壓縮空氣的停止。 　　1.壓縮空氣異常時(shí)，設(shè)備處于停機(jī)狀態(tài)，備用壓縮機(jī)房盡快恢復(fù)，恢復(fù)工作。 　　2.如果壓縮空氣在真空燒結(jié)爐真空中出現(xiàn)異常報(bào)警，且恢復(fù)時(shí)間長(zhǎng)，則真空終止，設(shè)備停止。

　　根據(jù)真空系統(tǒng)的使用目的而決定所需的真空度和抽氣時(shí)間，然后選擇合適的真空泵。真空燒結(jié)爐廠家介紹不同真空范圍內(nèi)的抽氣時(shí)間計(jì)算。 　　1、大氣壓-低真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算 　　這里所指的低真空領(lǐng)域，是指真空度在100 KPa至0.2 KPa，低真空領(lǐng)域真空腔體和泵的連接管內(nèi)，氣體分子是黏性流時(shí)，抽氣時(shí)間可以通過初期壓強(qiáng)p1、到達(dá)壓強(qiáng)p2、抽氣速度S和容積V(含配管)來計(jì)算。 　　 　　式中　p1———初期壓強(qiáng)(大氣壓)[Pa]; 　　p2———到達(dá)壓強(qiáng)[Pa]; 　　t———抽氣時(shí)間[min]; 　　V———容積[L]; 　　Se———實(shí)際抽氣速度[L/min]。 　　真空燒結(jié)爐廠家提醒用戶，考慮到導(dǎo)管和閥門的瓶頸效應(yīng)，實(shí)際抽氣速度大致可以估算為理論抽氣速度的80%。 　　2、中真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算 　　這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領(lǐng)域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài)，不能單純地像低真空或下面第三章節(jié)講解的高真空那樣簡(jiǎn)單地計(jì)算。一般情況下，通過兩種方式分別計(jì)算抽氣時(shí)間，然后取計(jì)算值較大的結(jié)果。 　　真空抽氣要考慮的要素： 　　(1)到達(dá)真空度; 　　(2)抽氣速度; 　　(3)導(dǎo)通率; 　　(4)實(shí)際抽氣速度; 　　(5)氣體放出率; 　　(6)漏率。 　　3、高真空-超高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算 　　在此，八佳真空燒結(jié)爐的技術(shù)人員表示，這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在0.2Pa以下，對(duì)于高真空領(lǐng)域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時(shí)間和抽氣速度的計(jì)算方法和低真空領(lǐng)域不同。 　　 　　式中　p(t)———到達(dá)壓強(qiáng); 　　Se———實(shí)際抽氣速度; 　　Ql———腔體漏氣量; 　　Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量; 　　p0———初期壓強(qiáng)。 　　氣體的放出量Qg(t)隨著時(shí)間t而減少。計(jì)算開始時(shí)，假定一個(gè)抽氣時(shí)間，根據(jù)當(dāng)時(shí)的放氣量來求得到達(dá)的真空度。如果計(jì)算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時(shí)間，根據(jù)新假設(shè)時(shí)間的氣體放出量再次計(jì)算。不斷重復(fù)，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。 　　真空燒結(jié)爐廠家的技術(shù)人員表示，高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算遠(yuǎn)比低真空領(lǐng)域復(fù)雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會(huì)減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達(dá)的真空度也會(huì)更高一些。 　　真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達(dá)的真空度和抽氣時(shí)間。如果使用了樹脂類材料，則到達(dá)的真空度會(huì)比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個(gè)數(shù)量級(jí)。內(nèi)部使用螺釘時(shí)，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時(shí)間緩慢放出。為了加速真空燒結(jié)爐螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開一個(gè)出氣孔。因此，內(nèi)部構(gòu)造越復(fù)雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設(shè)計(jì)上就更需要經(jīng)驗(yàn)。